| 粉体問題 |
ご提案 |
| SiH4により副生成されるSiO2粉体除去について、各種CVDにおいて対策を必要としますが、取り分けAP-CVDの排ガスラインでは大量に発生します。過去に各社から販売されている粉体除去機器は、粉体除去性能が劣るもの、除去能力はそこそこあってもメンテ費用が極めて高価なもの、メンテ時は製造装置を停止しないといけないこと等々、ユーザーニーズを充分に満足させるものはありません。 |
当社のECO-TRAPPER シリーズは、多量のSiO2（シリカ粉）を物ともしません。他に類を見ない粉体除去性能を有しています。製造装置を全停止せずに小メンテが可能です。これら全ての粉体除去機器は、特許出願製品です。 |
| TEOSで粘性のある副生成物の場合は、一層除去が困難となります。市販の除去機器では全くその用を足しません。 |
ECO-TRAPPER R-101は、TEOSの副生成物を問題なくクリアーします。 |
| 粉体発生量は、AP-CVDほどの大量発生ではないものの既存フィルターではメンテナンスサイクルが短く、また設置スペースが限られていて僅かな空間に設置できない等、従来の既存品で満足できるものはありません。 |
ECO-TRAPPER MINI R-301やPEN R-401は、そのようなニーズを満足させるために製品化したモデルです。 |
| PE-CVDにおいてプロセスガスとクリーニングガスを一括混合処理することにより大変始末の悪い副生成物が発生する一部のプロセスがあります。 |
プロセスガスとクリーニングガスを分離処理することにより始末の悪い副生成物は姿を消します／分離にお困りならバルブ切替ユニット“バルブチェンジャー”をオプション設定しています。 |
| CVDに限らずアルミエッチャー等においても扱いにくい副生成物が生成されます。過去に販売されている粉体除去機器は、気休め程度の粉体除去性能しかないものが多く、ユーザーニーズを充分に満足させるトラッパーはありません。 |
ECO-TRAPPER PEN R-401ならば、問題なくクリアーしてくれる筈です。
配管部材の一つとして扱えるほどのコンパクト設計です。 |
| 既設の熱分解式除害装置は、頻繁に粉体詰まりを起こしてクリーニング頻度が多くて大変困っています。 |
熱分解除害装置の前段にECO-TRAPPER R-101を設置することにより頻度を半減させます。 |
| 既設の粉体除去機器トラXXXは、直ぐにフィルターが粉体で目詰まりを起こして再生サイクルが短く、また再生費も高価て大変困っています。 |
乾式除害装置の前段にECO-TRAPPER R-301やR-401を設置いただくことにより粉体問題は劇的に解消されます。 |
| JESCOの除害装置ならば粉体問題は起こらないのか？ |
当社の乾式除害装置には粉体除去装置ECO-TRAPPERを内蔵したタイプをもれなくラインアップしています。それにより粉体問題を発生させることは無いと言っても言い過ぎにはならないでしょう。 |
